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[学位论文] 作者：王友旺,,
来源：电子科技大学 年份：2010
接近式光刻是运用比较长久、技术成熟的一种光学曝光方式,但是在实际的批量生产的过程中有很多因素会影响到光刻后图形质量,导致图形失真。如光刻机的光源、硅片与掩模版之间...
[期刊论文] 作者：王友旺,,
来源：城市建设理论研究(电子版) 年份：2004
计划管理是为确保项目达到既定目标所必须的一系列管理过程与活动,计划管理作为项目管理的核心内容,贯穿于项目的整个生命周期。科研项目同工程类项目相比,有着创新性强、不...
[期刊论文] 作者：鹿凯,王友旺,,
来源：电子技术与软件工程 年份：2013
近些年随着光科技术整体水平的提高以及科学技术的发展,人们对于光刻机精细对针技术系统提出了更多更高的要求,文章就从这个背景出发,首先针对目前光刻机需要高精度的对准系...
[期刊论文] 作者：王友旺,鹿凯,,
来源：电子技术与软件工程 年份：2013
在微细加工和集成电路(IC)制造当中,光学光刻技术是毋庸置疑的主流技术。现在的IC集成度越来越高,这就对光刻分辨力有了更好的要求。但光刻物镜数值孔径(N A)和曝光波长(λ)在一定程度上限制光学光刻的分辨极限。作为一项新兴光刻技术的激光干涉光刻,不仅设备价......
[期刊论文] 作者：王友旺 林盛浩,
来源：科技致富向导 年份：2013
【摘 要】本文就针对目前高分辨率投影光刻机所实现的高成像性能、高分辨率进行阐述，并对高分辨率投影光刻机系统下，不同光瞳整形技术的原理、设计、性能等进行回顾性分析。 【关键词】高分辨率投影光刻机；光瞳整形；光学制造 高分辨率投影光刻机光瞳整形技术......
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