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[期刊论文] 作者：王友旺 林盛浩,
来源：科技致富向导 年份：2013
【摘 要】本文就针对目前高分辨率投影光刻机所实现的高成像性能、高分辨率进行阐述，并对高分辨率投影光刻机系统下，不同光瞳整形技术的原理、设计、性能等进行回顾性分析。 【关键词】高分辨率投影光刻机；光瞳整形；光学制造 高分辨率投影光刻机光瞳整形技术......
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