搜索筛选:
搜索耗时3.1334秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[会议论文] 作者：王奇[1]赵湛[2]曾欢欢[1]方震[1]张博军[2],
来源：中国微米纳米技术第七届学术年会 年份：2005
本文介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力.这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材...
相关搜索：
