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[期刊论文] 作者：王存玲 骏跃,
来源：科技展望 年份：2010
摘要:在高g值加速度测量时,质量块所受的惯性力可能会使悬臂梁上的应力超过屈服应力致使悬臂粱断裂。基于这一点,本文提出了采用MEMS(Micro Electro-Mechinical System)技术用扩散的方法在悬臂梁上制作一个会斯顿测量电桥,加速度变化时,对桥路输出信号经过电压......
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