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[会议论文] 作者：王曦;孙佳胤;武爱民;陈静;,
来源：第六届中国功能材料及其应用学术会议 年份：2007
采用有限元方法,通过ANSYS软件模拟了体硅衬底上和SOI衬底上生长的GaN外延膜从1100℃的生长温度降到20℃的热应力变化情况。模拟结果表明SOI衬底作为一种柔性衬底,能有效减少...
[会议论文] 作者：王曦,孙佳胤,武爱民,陈静,王曦,
来源：第六届中国功能材料及其应用学术会议 年份：2007
采用有限元方法,通过ANSYS软件模拟了体硅衬底上和SOI衬底上生长的GaN外延膜从1100℃的生长温度降到20℃的热应力变化情况。模拟结果表明SOI衬底作为一种柔性衬底,能有效减少异质外延的晶格失配,但是单从热失配的角度,由于引入了热膨胀系数(CET)更小的埋层SiO2,......
[期刊论文] 作者：王曦,孙佳胤,武爱民,陈静,王曦1,
来源：功能材料 年份：2007
采用有限元方法，通过ANSYS软件模拟了体硅衬底上和SOI衬底上生长的GaN外延膜从1100℃的生长温度降到20℃的热应力变化情况。模拟结果表明SOI衬底作为一种柔性衬底，能有效减少异...
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