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[期刊论文] 作者：王旭,王海珠,张彬,王曲惠,范杰,邹永刚,马晓辉,
来源：发光学报 年份：2021
利用金属有机化学气相沉积技术在GaAs衬底上开展了大失配InGaAs多量子阱的外延生长研究.针对InGaAs与GaAs之间较大晶格失配的问题,设计了GaAsP应变补偿层结构;通过理论模拟与...
[期刊论文] 作者：王嘉宾,王海珠,刘伟超,王曲惠,范杰,邹永刚,马晓辉,
来源：发光学报 年份：2022
在硅(Si)上外延生长高质量的砷化镓(GaAs)薄膜是实现硅基光源单片集成的关键因素.但是,Si材料与GaAs材料之间较大的晶格失配、热失配等问题对获得高质量的GaAs薄膜造成了严重影响.本文利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术开展Si基GaAs生长研究.通过采用三步生......
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