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[学位论文] 作者：王翱岸,
来源：大连理工大学 年份：2014
随着MEMS技术的飞速发展,金属微器件作为微传感／执行器的核心部件在医疗、生物、航空航天等领域的需求日益增多。同时,基于UV-LIGA技术制作金属微结构的方法也逐渐受到人们的...
[期刊论文] 作者：杜立群,鲍其雷,赵明,王翱岸,,
来源：光学精密工程 年份：2015
根据光学领域对高深宽比金属微器件的需求,利用UV-LIGA工艺在金属基底上制作了具有高深宽比的金属微光栅。采用分层曝光、一次显影的方法制作了微电铸用SU-8胶厚胶胶模,解决...
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