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[期刊论文] 作者：张晓红,王锐廷,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
简单说明了清洗技术在90～65nm节点技术阶段的新发展,着重介绍了一种新的清洗技术—低温冷凝清洗技术产生的背景、技术现状及其应用,对我国半导体清洗行业的未来发展提出建议。...
[期刊论文] 作者：张晓红,王锐廷,
来源：电子工业专用设备 年份：2007
着重对太阳能电池制绒工艺的研究进行了阐述，并以研究所得的工艺数据为基础，对制绒设备的关键部件——工艺槽体的设计进行了详细说明，保证所研发的最终设备满足了大规模生产线对......
[期刊论文] 作者：马嘉,吴仪,王锐廷,李文杰,,
来源：电子工业专用设备 年份：2013
针对300mm单晶片清洗设备，设计开发了一套化学药液温度控制系统。由于化学药液传输系统具有大惯性、大时滞、非线性的特点，采用Smith预估法设计了一种温度控制算法；并基于可编程......
[期刊论文] 作者：严诚,王益军,张正君,苏德坦,丛晓庆,王锐廷,,
来源：半导体技术 年份：2008
基于微通道板的清洗工艺,设计了清洗设备的结构,并对设备的核心部件详细说明。利用液体射流喷射实现喷淋清洗,采用液体液下喷射循环实现液体的紊流,减少了搅动和传动系统为系...
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