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[期刊论文] 作者:王霞珑,, 来源:电子与封装 年份:2013
Si1-x-yGexCy是继Si和GaAs之后又一重要的半导体材料。由于 Si1-x-yGexCy具有优于纯Si材料的良好特性,器件和制程又可与SL工艺兼容,采用Si1-x-yGexCy及其 Si1-x-yGexCy/Si结所...
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