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[会议论文] 作者：王鹏;蒋昌忠;任峰;范丽霞;,
来源：第二届中国可信计算与信息安全学术会议 年份：2006
利用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备了ZnO(Mg/Al)薄膜.通过改变源气体中氩气和氧气的流量比,以及Mg的含量来控制薄膜中各种成分的不同化学计量比.将样品在空气中退火处...
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