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[学位论文] 作者：申承志,,
来源：电子科技大学 年份：2014
本文介绍了一台进口的LPCVD设备,它的型号是ACS514。它由三套炉管系统组成;它使用氨气、SiH2Cl2、TEOS和SiH4等特气。这台LPCVD设备故障率高。对这台设备故障的统计显示,该设...
[期刊论文] 作者：申承志,,
来源：办公室业务 年份：2017
本文结合传统图书馆的后勤保障工作机制,提出现代图书馆的后勤保障工作面临的新挑战,从新建图书馆对后勤保障工作的新要求与现代图书馆功能变化对后勤保障的新要求等方面入手...
[期刊论文] 作者：申承志,马培圣,,
来源：半导体技术 年份：2010
基于实际应用，介绍了气动增压泵原理和级连方法。总结了对增压泵的维修经验，阐述了缺少进口增压泵维修资料的现状。分析了增压泵的常见故障和一些特殊故障。采用观测方法测试了......
[期刊论文] 作者：申承志,张海明,
来源：设备管理与维修 年份：2020
某型号接触式光刻机汞灯电源在通道1恒光强模式时,电源功率大幅波动,光的亮度忽明忽暗。使用交换法、恢复参数法找到故障原因,采用合适方法解决故障。...
[期刊论文] 作者：申承志,郝晓亮,,
来源：半导体技术 年份：2010
基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法。总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状。分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采...
[期刊论文] 作者：申承志,张海明,
来源：电子工业专用设备 年份：2020
介绍了热阴极电离规管频繁出现损坏的情况。讲述了热阴极电离真空计原理。通过试验确认了电离规管频繁损坏是在做完工艺并关闭高阀后到真空度降到8 Pa这段时间发生。热阴极电...
[期刊论文] 作者：申承志,赵英伟,郝晓亮,马培圣,刘楠,
来源：设备管理与维修 年份：2021
某型号X光检测机3天左右就出现一次真空故障。故障现象是设备停止抽真空,导致设备不能正常工作。使用2个同精度等级的高真空计同时测量,测量值差一个数量级。将设备上的高真...
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