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[会议论文] 作者:石成儒;郝天亮;, 来源:'96中国材料研讨会 年份:1996
发展了一种金刚石粉液超声预处理方法,在合适的条件下,单晶硅表面成核密度可达10〈’10〉cm〈’-2〉,石英玻璃表面达到10〈’9〉cm〈’-2〉。采用热解CVD方法,在甲烷-氢气比为1.5℅ ̄2℅下成核,<1℅下生长。在......
[会议论文] 作者:邱东江,石成儒,郝天亮, 来源:华东三省一市第三届真空学术交流会 年份:2000
  本文用射频等离子体增强热丝化学气相沉积(RD-HFCVD)技术在Ni衬底表面合成了c-BN膜,实践证明,热丝温度Tf、衬底温度Ts、是影响薄膜质量的主要因素。...
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