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[学位论文] 作者:石正雨, 来源: 年份:2017
等离子体是一个复杂的多参量体系,对电子密度,电子温度、活性粒子密度、电子能量分布等参量进行诊断,是低温等离子体研究的重要工作。在等离子体诊断技术中,利用微波和等离子体相互作用的等离子体参数诊断技术具有无扰动、时间分辨率高等特点;不同的相互作用机......
[期刊论文] 作者:石正雨,张一川,杨宽,李唤,朱晓东,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2017
利用质量能量分析仪研究了微波电子回旋共振(ECR)氢等离子体的离子特征以及氢分子束流引入对离子特征的影响.在工作气压1 Pa的放电条件下,探测到了H+、H+2和H+3三种氢离子,其...
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