搜索筛选:
搜索耗时2.4466秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 2 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：祁婉婷,
来源：河南科技学院 年份：2023
Si C作为一种新型的半导体材料,被广泛地作为衬底材料应用在各种半导体器件的生产制造中,因此Si C的表面质量就显得尤为重要,这也引起了诸多学者的关注及对Si C表面超精密低损伤的研究。本文主要选用6H-Si C作为研究对象,对其在摩擦化学机械抛光过程中的化学作......
[期刊论文] 作者：刘海旭,武庆东,曹潇俊,祁婉婷,苏建修,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2021
采用响应曲面法,以材料去除率RMRR和表面粗糙度Ra为评价指标,研究抛光过程中抛光盘转速、压力、时间等3种参数对RMRR和Ra的影响。根据抛光试验结果,建立材料去除率和表面粗糙...
相关搜索：
