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[会议论文] 作者：祁志美;崔大付;,
来源：第五届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1997
ＳＫＬ－２型ＣＯ敏感元件是一种球形多孔烧结体ＳｎＯ＜，２＞气敏元件，它是通过ＳｎＯ＜，２＞敏感浆涂布在机械绕制的同轴铂线圈上烧结而成。该元件在１００℃的工作温度下对１００ｐｐｍＣＯ的灵敏度为３，响应时间为５秒，恢复时间１５秒。然而当元件长......
[期刊论文] 作者：王利,祁志美,崔大付,
来源：仪表技术与传感器 年份：1998
本文主要介绍了微结构气敏传感器制造工艺中的关键技术，例如双面光刻、反应等离子刻蚀、硅的各向异性腐蚀、采用溶胶—凝胶镀膜技术制备ＷＯ３敏感薄膜。文中还给出ＷＯ３薄膜的ＸＲＤ和ＳＥＭ表面分析......
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