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[期刊论文] 作者:祝沪锦,
来源:工具技术 年份:1988
为了更有效地运用超精技术,作者提出了一种具有纳米分辨率的光电位移传感器的设计方案。该传感器是以高灵敏地检测某一具体位置的光强变化量,就可确定其位移大小为设计出发点...
[会议论文] 作者:康德元,祝沪锦,
来源:中国机械工程学会第五届机械传动年会 年份:1992
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