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[会议论文] 作者：秦江[1]杜立群[1]刘冲[1]朱神渺[2],
来源：第八届中国微米/纳米技术学术年会 年份：2006
本文对SU-8胶微结构的尺寸及其公差进行了定量研究.在考虑了SU-8的吸收系数和折射系数对紫外光刻尺寸精度影响的基础上,根据菲涅耳衍射理论建立了紫外曝光改进模型和尺寸公差...
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