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[学位论文] 作者：管钰晴,
来源：中国计量大学 年份：2020
随着科学技术和制造工艺的飞速发展,纳米薄膜作为纳米产业中的关键技术,在航空科学技术产业、集成电路发展产业、先进制造业、国防、生物医药等方面具有广泛的应用。薄膜的几何参数和光学常数影响着器件的性能,纳米计量技术至关重要,针对这一发展现状,本文就薄......
[期刊论文] 作者：管钰晴,傅云霞,邹文哲,谢张宁,雷李华,
来源：红外与激光工程 年份：2022
依据穆勒椭偏测量方法中偏振光的传输方式,文中提出了一种基于自适应差分进化算法(SADE)的各向同性纳米薄膜厚度与光学常数的表征方法.通过建立出射光强关于待测标准样片穆勒矩阵的最小二乘模型,用SADE算法对穆勒矩阵元素进行求解,并将拟舍得到的穆勒光谱曲线与......
[期刊论文] 作者：杜黎明,管钰晴,孔明,平少栋,谢张宁,雷李华,傅云霞,
来源：微纳电子技术 年份：2021
基于双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统的薄膜厚度测量方法,通过膜厚比对分析对椭偏仪进行能力认证,实现纳米薄膜的高精度测量研究.设计了一套复合型膜厚标准样片,采用多种仪器测量其膜厚并对测量结果进行有效比对,给出相应的不确定度评定方法,研究了纳米薄膜厚度......
[期刊论文] 作者：张馨尹,傅云霞,李强,吴俊杰,魏佳斯,孔明,管钰晴,谢张宁,雷李华,,
来源：微纳电子技术 年份：2020
提出了一种利用椭圆偏振测量进行纳米薄膜参数数据处理的混合优化算法。以人工神经网络模型为基础,利用改进粒子群算法选择人工神经网络中的权值和阈值,建立改进粒子群-神经网络(IPSO-NN)算法模型对纳米薄膜参数进行数据处理,以获得更高精度的纳米薄膜参数。利......
[期刊论文] 作者：雷李华,张馨尹,吴俊杰,李智玮,李强,刘娜,谢张宁,管钰晴,傅云霞,
来源：红外与激光工程 年份：2020
为了在椭圆偏振测量过程中得到精确的纳米薄膜参数,提出了一种求解纳米薄膜参数的混合优化算法.结合人工神经网络算法反向传播和粒子群算法快速寻优的特点,建立了改进粒子群-...
[期刊论文] 作者：管钰晴,唐冬梅,傅云霞,孙佳媛,韩志国,张波,孔明,曹程明,雷李华,
来源：红外与激光工程 年份：2020
依据穆勒椭偏测量方法中偏振光的传输方式,提出了一种椭偏系统中光学元件参数的定标方法.通过建立出射光强关于起偏器和检偏器透光轴方位角、旋转补偿器方位角和相位延迟的非...
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