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[学位论文] 作者:罗品奎,,
来源: 年份:2013
硅片台是光刻机等IC制造装备的核心部件之一,主流的硅片台结构都采用H型布局,因此研究H型精密运动平台具有十分重要的意义,本文主要研究H型精密运动平台的运动控制问题。首先,本......
[期刊论文] 作者:罗品奎, 金建新, 李小平,,
来源:机械制造与自动化 年份:2013
介绍了双直线电机驱动的H型运动平台同步控制特点,使用SimMechanics建立H型运动平台动力学模型,使用模糊逻辑控制算法消除机械耦合的影响,提高双直线电机的同步运动精度。...
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