搜索筛选:
搜索耗时1.4386秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 2 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：罗品奎,,
来源： 年份：2013
硅片台是光刻机等IC制造装备的核心部件之一，主流的硅片台结构都采用H型布局，因此研究H型精密运动平台具有十分重要的意义，本文主要研究H型精密运动平台的运动控制问题。首先，本......
[期刊论文] 作者：罗品奎, 金建新, 李小平,,
来源：机械制造与自动化 年份：2013
介绍了双直线电机驱动的H型运动平台同步控制特点,使用SimMechanics建立H型运动平台动力学模型,使用模糊逻辑控制算法消除机械耦合的影响,提高双直线电机的同步运动精度。...
相关搜索：
