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[会议论文] 作者：罗建国;黄朝辉;袁培雄;,
来源：第十届全国MOCVD学术会议 年份：2007
本研发工作的主要内容包括:大尺寸化合物半导体晶体材料一砷化镓,精密垂直温差梯度冷凝法(VGF)的晶体生长;开盒即用级蓝宝石晶片和砷化镓晶片的精密研磨、CMP(化学机械)+CP(...
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