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[期刊论文] 作者:程晋荣,罗来青,孟中岩, 来源:功能材料 年份:2000
采用改进的溶胶 -凝胶技术 ,在Pt/Ti/TiO2 /SiO2 /Si( 1 0 0 )基片上制备了压电PZT薄膜 ,用XRD和AFM技术分析了不同热处理工艺条件下PZT薄膜的微观形貌变化及相结构演化 ,系...
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