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[期刊论文] 作者：徐传骧,李仰平,崔秀芳,金兰香,翟保定,
来源：西安交通大学学报 年份：1993
为提高硅半导体器件的正向导电特性,文中对器件浓硼扩散、磷扩散和烧结铝电极后P+-P区掺杂浓度分布、少子寿命等因素的影响进行了实验研究.结果表明:对于烧铝电极器件浓硼扩...
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