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[期刊论文] 作者：耿鑫鹏,
来源：建筑工程技术与设计 年份：2020
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[学位论文] 作者：耿鑫鹏,
来源：厦门理工学院 年份：2023
以氧化锌为基础的透明导电氧化物薄膜具有良好的导电性、可见光区域高透光度、高可靠性、无毒性和低成本的优点,被认为是传统的价格昂贵的氧化铟锡薄膜的潜在替代物。其中,以掺铝氧化锌的研究最为广泛。工业上常用磁控溅射法制备金属氧化物薄膜,但是磁控溅射法......
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