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[学位论文] 作者：肖天麒,
来源：浙江大学 年份：2020
芯片是所有现代智能系统的核心部件,也是工业加工领域的最高技术成果之一。在现行纳米级别的加工尺度下,等离子体刻蚀被大量应用在集成电路加工流程中。由于纳米尺度的加工过程极其敏感,传统的“故障-改进”式的工艺保持与改良方法会导致在生产过程中成本的爆炸......
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