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[学位论文] 作者：肖成榕,
来源：厦门大学 年份：2007
本文研究了一种面向精密定位的压电陶瓷驱动的微动工作台及其控制系统。微位移机构是精密加工、检测等应用领域的关键部件，微位移系统一般由驱动元件、微动工作台和控制单元三......
[会议论文] 作者：肖成榕, 张建寰,,
来源： 年份：2005
本文对微位移机构的原理、结构、特点及应用进行了简要地分析与比较,并以压电陶瓷驱动的柔性铰链机构为例阐述了微位移机构的控制方法及发展趋势。...
[会议论文] 作者：周军现;张建寰;肖成榕;,
来源：厦门市科协2005年学术年会暨福建省科协第五届学术年会卫星会议 年份：2005
应用差动共焦光学系统对超精密加工的表面进行瞄准测量时,差动连接的光电探测器的光电特性差异、光路调节以及探测器前的小孔光阑的不一致,造成了光电探测器输出信号差异,并...
[会议论文] 作者：张建寰,肖成榕,付建记,
来源：厦门市科协2005年学术年会暨福建省科协第五届学术年会卫星会议 年份：2005
本文介绍了基于离焦像散原理所设计的可对光滑表面及非连续光滑表面进行测量的光学测头技术,通过实验验证得出该测头即可用于光滑表面的粗糙度测量,同时可进行非连续光滑表面...
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