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[期刊论文] 作者：肖沛宏,付兴铭,谭六喜,姚媛,,
来源：传感器世界 年份：2007
本文对一种汽车用MEMS压力传感器中的键合金线,在加速振动试验时的疲劳情况进行了研究。首先简单介绍了MEMS压力敏感芯片引线键合以及引线的基本情况,然后利用有限元方法对引...
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