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[会议论文] 作者：胡诗犇[1]朱峰[1]陶瑞强[1]刘贤哲[1]曾勇[1]姚日晖[1]徐苗[1]邹建华[1]陶洪[1]王磊[1]兰林锋[1]宁洪龙[2]彭俊彪[1],
来源：第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议 年份：2015
近年来,随着显示技术的迅速发展,非晶氧化铟镓锌薄膜晶体管由于其较好的均匀性和高迁移率得到了广泛的应用.通常沉积IGZO薄膜技术主要为射频磁控溅射(RF),由于需要在溅射过程...
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