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[会议论文] 作者：苏东风[1]续志军[2],
来源：二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会 年份：2008
传统的透射式二光栅系统为了提高精度,需要高度准直的光源,主光栅和指示光栅之间的间隙很小,一般位于第一菲涅耳焦面上,允差较小,容易擦伤光栅表面。而三光栅系统对光源的准...
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