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[会议论文] 作者：苏超华[1]王如志[1]张跃飞[2]赵军伟[1]严辉;,
来源：中国真空学会2014年年会 年份：2014
目前，人们在制备形貌、取向可控纳米材料方面还面临巨大的挑战，而如何控制纳米线生长是制造纳米器件的关键所在。本文介绍了采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)方法，未使用......
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