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[学位论文] 作者：苗政委,
来源：中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) 年份：2023
随着现代学科的发展,越来越多的学科发生着交叉与融合,对于光学新器件的材料常数以及尺寸快速且精确地测量成为了重点研究课题。椭偏测量技术有着灵敏度高,精度高,不易损害材料,不容易受到干扰,对环境的要求低等优点,因此广泛地运用于光学薄膜参数测量之中。虽......
[期刊论文] 作者：苗政委,汤媛媛,魏凯,张雨东,
来源：光学学报 年份：2021
在椭偏测量中,采用直通式标定方法准确标定出系统模型参数对于样品的精确测量至关重要。由于双旋转补偿器式Mueller矩阵椭偏仪(DRC-MME)高级参数模型复杂,参数数量较多,且部分高级参数之间存在相互级联和耦合,为保证标定结果的准确性,实验中各个参数之间的独立......
[期刊论文] 作者：苗政委,汤媛媛,魏凯,张雨东,
来源：光学学报 年份：2021
椭偏仪实现高精度测量的关键在于模型值的精准标定,而随机误差是影响标定精度的重要因素。从椭偏仪随机误差的产生原因入手,针对零阶噪声受限、一阶噪声受限、二阶噪声受限三种可能存在的系统,对测量结果随机误差进行了数值估计。为了降低测量结果的随机误差,采......
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