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[学位论文] 作者：苗晋威,
来源：中北大学 年份：2023
矢量水听器是获取水下目标声源信息的重要工具。随着水声传感技术与微纳加工技术的成熟,矢量水听器向着微型化、低成本、易装载以及高集成度方向发展。针对水下平台自身振动影响矢量水听器探测精度以及灵敏度低下的问题,本文提出了一种面向矢量水听器的力矩平衡......
[期刊论文] 作者：齐秉楠,王任鑫,史一明,苗晋威,任子明,
来源：微纳电子技术 年份：2021
水听器是水下探测的主要仪器,通过对其结构的研究和改进可显著提升其性能.针对现阶段矢量水听器所采用的纤毛二次集成方式所造成的一致性误差较大的问题,以硅纳米膜作为压敏...
[期刊论文] 作者：齐秉楠,苗晋威,史一明,任子明,王任鑫,
来源：微纳电子技术 年份：2021
随着水下探测技术的发展,为满足水听器更精准的定位和更远距离的探测要求,提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式一体化矢量水听器。设计了一套能够将硅纤毛与二氧化硅悬臂梁相集成的工艺方案,以期解决长期以来由于纤毛二次集成带来的一致性误差。对水听......
[期刊论文] 作者：苗晋威,杨沙沙,齐秉楠,乔庆宇,刘国昌,王任鑫,
来源：传感器与微系统 年份：2022
微机电系统(MEMS)矢量水听器在使用中会受到平台运动、海浪、洋流等冲击的干扰从而影响对目标声源的探测.为实现水听器的精准探测,提出了一种纤毛—硅柱结构的可抑制振动噪声的矢量水听器.设计了一种力矩平衡结构,利用COMSOL软件对矢量水听器的参数构建有限元分......
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