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[期刊论文] 作者：陈存礼,范仁永,
来源：半导体学报 年份：1983
本文报道了用连续CO_2激光辐照代替热合金化做Al-Si欧姆接触.由于激光退火具有瞬时退火的特点,避免或是明显地减少导致残结器件失效的Al-Si互扩散现象,从而达到保持良好结特...
[期刊论文] 作者：范仁永,郁元桓,褚一鸣,殷士端,林兰英,
来源：半导体学报 年份：1987
用炉退火和快速红外退火对经过Si离子注入的厚度为0.3—0.54微米的蓝宝石上硅膜(SOS)进行固相外延,并用离子背散射沟道技术和剖面电子显微技术研究其晶体质量的改善.用俄歇能...
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