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[会议论文] 作者：范细秋;张鸿海;胡晓峰;贺德建;,
来源：全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议 年份：2004
现有MEMS制造工艺难于同时满足既能加工真三维微结构又能与集成电路工艺兼容的要求,严重阻碍了MEMS产业化的进一步快速发展.本文分析了20世纪90年代中期兴起的压印光刻技...
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