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[期刊论文] 作者：范金焰,温志渝,陈李,温中泉,刘海涛,,
来源：压电与声光 年份：2012
为提高真空微电子加速度传感器的线性度,提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法。建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型,进行仿真分析。设计制作以TMS320VC5416DSP为核心的控制电路,实现了真空微电子加速度传感器的闭环控制。实......
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