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[学位论文] 作者：范青潽,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2023
VO2智能热控器件发射率可变,是未来深空探测的关键热控技术。然而现有的VO2智能热控器件缺少防静电研究,难以保障探测器在轨正常运行,亟需开展基于VO2智能热控器件的防静电研究。本论文采用高能脉冲磁控溅射（Hi PIMS）制备ITO薄膜,通过调控工艺参数优化ITO薄膜的导......
[期刊论文] 作者：谷金鑫,魏航,任飞飞,李龙,范青潽,赵九蓬,豆书亮,李垚,
来源：哈尔滨工程大学学报 年份：2020
高能脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术具有低占空比、低频率、高峰值功率密度、高溅射等离子体密度等特点,能够在高峰值功率下进行薄膜沉积,从而提高薄膜的沉积质量。将高能脉冲磁控...
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