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[期刊论文] 作者:刘晓晨,葛新岗,李义锋,姜龙,安晓明,郭辉, 来源:人工晶体学报 年份:2019
根据小角散射原位加载测试的应用需求,采用自行研制的2. 45 GHz/6 k W穹顶式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置进行高质量单晶金刚石窗口的制备,对晶托结构进行改进,并系...
[期刊论文] 作者:安晓明,葛新岗,刘晓晨,李义锋,姜龙,罗海瀚, 来源:人工晶体学报 年份:2021
本文研究制备了可应用于高功率CO2激光器的CVD金刚石窗口。首先使用环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置沉积制备直径2英寸(1英寸=2.54 cm)金刚石自支撑膜,然后将膜片双面抛光,激光切割成矩形基片,再采用蒸镀法在基片表面制备中心波长在10.6μm的增透膜,最终制备得......
[期刊论文] 作者:李义锋, 唐伟忠, 姜龙, 葛新岗, 张雅淋, 安晓明, 刘, 来源:人工晶体学报 年份:2004
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[期刊论文] 作者:刘晓晨,郁鑫鑫,葛新岗,姜龙,李义锋,安晓明,郭辉, 来源:人工晶体学报 年份:2021
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,通过改变气源中的氮含量,得到不同结晶质量的单晶金刚石,通过激光切割以及抛光控制样品尺寸为5 mm×5 mm×0.5 mm,然后对样品进行表面氢化处理并研制了金刚石射频器件,系统研究了氮含量对金刚石材料晶体质量和金刚石射......
[期刊论文] 作者:李义锋,唐伟忠,姜龙,葛新岗,张雅淋,安晓明,刘晓晨,何奇宇,张, 来源:人工晶体学报 年份:2019
[期刊论文] 作者:李义锋,姜龙,安晓明,刘晓晨,张雅琳,仝婷婷,李文江,葛新岗,张平伟,郭辉,孙振路, 来源:真空电子技术 年份:2022
人工合成金刚石技术极大地推动了工业技术的进步,并有望进一步为科学技术的发展带来革命性的突破。本文介绍了人工合成金刚石技术,详细分析了几种主要化学气相沉积方法的技术特点、应用领域及发展现状。重点介绍了微波等离子体化学气相沉积大尺寸高品质光学级金刚......
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