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[学位论文] 作者:蒋雅雅, 来源: 年份:2008
本文采用直流反应磁控溅射法在P型Si(111)基底上制备TiN_x薄膜。在反应溅射镀膜过程中影响薄膜结构与性能的因素很多,如溅射电流、气体流量、溅射总气压、基底温度和基底偏压等。本文分别研究了溅射电流、氮气流量、溅射总气压和基底温度对TiN_x薄膜组分、结晶......
[期刊论文] 作者:蒋雅雅,冯继军,, 来源:理化检验(物理分册) 年份:2017
结合一些典型工程失效案例,介绍了汽车发动机高压油管常见的失效形式,分析了引起各种失效形式的可能原因,并提出了相应的预防改进措施。结果表明:汽车发动机高压油管服役过程...
[期刊论文] 作者:蒋雅雅, 赖珍荃, 王震东, 黄奇辉,, 来源:南昌大学学报(理科版) 年份:2007
在不同的基底温度下,采用直流磁控反应溅射法在硅基底上制备了氮化钛(TiNx)薄膜,研究了基底温度对薄膜结晶取向、表面形貌和导电性能的影响。实验结果表明:基底温度较低时,薄...
[期刊论文] 作者:朱秀榕,赖珍荃,蒋雅雅,范定寰,, 来源:南昌大学学报(工科版) 年份:2008
采用直流磁控溅射法,在S i基底上制备TiNx薄膜。研究了溅射沉积过程中氮气流量对TiNx薄膜生长及性能的影响。研究发现:在其它工艺参数不变的情况下,改变N2流量,薄膜的主要成分...
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