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[学位论文] 作者：蔡梅妮,
来源：中国科学院研究生院 中国科学院大学 年份：2012
MEMS差分电容式加速度传感器，具有温度系数小、灵敏度高、稳定性好，可通过静电恢复力工作在力平衡模式等优点，适用于石油勘探及地震监测等对传感器性能要求较高的领域。在这些领......
[期刊论文] 作者：蔡梅妮,林友玲,车录锋,苏荣涛,周晓峰,黎晓林,,
来源：传感器与微系统 年份：2012
设计了一种可用于器件级真空封装的三明治电容式MEMS加速度传感器。该传感器被设计为四层硅结构，其中上下两层为固定电极，中间两层为硅一硅直接键合的双面梁一质量块结构的可动......
[期刊论文] 作者：蔡梅妮,车录锋,林友玲,周晓峰,黎晓林,吴健,,
来源：半导体技术 年份：2012
为了降低微电子机械系统(MEMS)加速度器件的热机械噪声,提高信噪比,使之能应用于石油勘探和地震监测中,对一种三明治式电容加速度传感器的器件级真空封装工艺进行了研究。这...
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