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[期刊论文] 作者：藤森敬三,欧福贤,,
来源：半导体情报 年份：1976
有关半导体器件或集成电路的批量生产中的晶体生长、扩散、氧化工艺等加工技术跟电气特性的关系已讨论的比较详细了。而电极形成工艺,除特殊器件外,一般满足于作成欧姆接触...
[期刊论文] 作者：铃木和明,藤森敬三,徐信慧,,
来源：上海有色金属 年份：2004
1960年以来,外延生长技术作为半导体工业的一个重要部分,有了很快的发展。在现在,硅晶体管及二极管的大部分不必说,集成电路也都是用外延生长法的。就是对晶体三极管,它是用...
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