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[期刊论文] 作者：吴建华,褚家如,
来源：光学精密工程 年份：2005
报道了一种利用压电陶瓷双晶片驱动的适用于尺寸在20～200μm之间微器件装配操作的微操作器.夹持臂尖端直径约15 μm,在80 V的电压驱动下闭合约200μm的距离.通过理想操作模型...
[期刊论文] 作者：鲁健,褚家如,
来源：中国科学技术大学学报 年份：2002
采用溶胶-凝胶技术，在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了沿（100）晶向强烈取向的Pb(Zr0.53，Ti0.47)O3铁电薄膜。通过X-ray衍射分析，在每层膜的制备工序中，增加600℃热处理15min的工艺，可...
[期刊论文] 作者：赵钢,褚家如,,
来源：传感技术学报 年份：2006
以超高密度信息存储技术为应用背景，设计了低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针，并安排了探针加工工艺流程．通过建立更接近真实结构的悬臂梁模型，推导出了非矩形不等截面多层......
[期刊论文] 作者：褚家如,黄文浩,
来源：中国科学技术大学学报 年份：1994
微机与电容传感器结合实现了惯性式微机构位移性能的动静态检测，清晰地分辨出了驱动信号周期为５ｍｓ时微位移机构的响应波形，详细推导了测量系统的数学模型，非线性误差的表达式以及极......
[期刊论文] 作者：许高斌,褚家如,,
来源：微纳电子技术 年份：2006
对静电雾化的基本概念、原理和典型喷洒模式作了介绍，对静电雾化技术在纳米薄膜制备中的应用进行了阐述，最后对静电雾化技术在薄膜制备中存在的问题和影响薄膜微观结构和性能的......
[期刊论文] 作者：孙长敬,褚家如,
来源：微纳电子技术 年份：2004
介绍了基于MEMS技术的微流体混合器及相关技术,给出了各种微流体混合器的结构、原理和特点,同时对微管道中流体混合的仿真、实验技术以及微管道中微量流体混合程度的评价方法...
[期刊论文] 作者：孙长敬,褚家如,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2006
鉴于MEMS技术的工艺复杂性及昂贵的制作成本，对基于MEMS技术的压电驱动微流体混合器的结构进行了改进．利用常规的激光加工方法制作了不同尺寸的混合器，并通过实验对其性能进行了......
[会议论文] 作者：褚家如;黄文浩;,
来源：第五届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2001
信息微系统技术已经成为MEMS领域里十分活跃的方向之一,它将对包括信息获取、信息存储和信息传输在内的现代信息技术的广泛领域产生十分重要的影响.比如用于信息获取的微型传...
[期刊论文] 作者：褚家如,李磊,鲁健,
来源：科技开发动态 年份：2005
该铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试装置是一种铁电功能陶瓷材料的测试装置，尤其适用于锆钛酸铅(IYZT)铁电薄膜材料介电性能的测试。...
[期刊论文] 作者：荣皓,赵钢,褚家如,,
来源：光学精密工程 年份：2011
针对热机械式微纳米结构的加工,提出了一种以掺Al多晶硅为材料,集成于微悬臂梁上的加热器。采用Al诱导退火晶化(AIC)方法,在750 K对Al/a-Si∶H复合薄膜低温晶化18 h,制备出掺...
[期刊论文] 作者：朱学林,王翔,褚家如,
来源：光学精密工程 年份：2009
考察了over-plating工艺中不同线距、线宽条件下的电沉积规律。利用数值模拟方法对图形结构轮廓和电沉积速度之间的相互影响进行了分析，同时采用变网格方法来适应电沉积过程中...
[期刊论文] 作者：赵钢,褚家如,徐藻,
来源：微细加工技术 年份：2004
介绍了硅基片微型通孔的用途及在微机电系统发展中的重要性,从原理、过程、优缺点等方面详细叙述了激光打孔法、湿法刻蚀法、深度反应离子刻蚀法(DRIE)和光辅助电化学刻蚀法(...
[期刊论文] 作者：王海,文莉,褚家如,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2005
提出了一种新的基于并行探针的扫描等离子体刻蚀加工方法,设计并研制了其中的核心器件--微小等离子体反应器,测量了该器件的伏安特性曲线,分析了其电学性能随工作气压和器件...
[期刊论文] 作者：王海,褚家如,赵钢,
来源：微纳电子技术 年份：2003
扫描探针加工技术作为一种无掩模微细加工手段以其所需设备简单和加工精度高达纳米量级等优点,近年来受到广泛的重视和研究.但目前扫描探针加工技术存在加工效率低、可重复性...
[期刊论文] 作者：陈超,褚家如,鲁健,
来源：微细加工技术 年份：2005
采用快速成膜技术在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上成功制备了总厚度为2.56μm,结构致密且无裂纹的Pb(Zro.53,Ti0.47)O3铁电厚膜.研究了快速成膜技术中热分解温度对薄膜结晶...
[期刊论文] 作者：鲁健,褚家如,秦俊,
来源：微细加工技术 年份：2004
用基于多普勒频移和相位差原理的LDV(Laser Doppler Velocimeter)技术研究了溶胶-电雾化系统中荷电雾滴的轴向速度及其分布,并分析了雾滴在输运过程中的受力情况.结果表明,在...
[期刊论文] 作者：王海,文莉,褚家如,,
来源：微细加工技术 年份：2005
提出了一种基于并行探针技术的扫描等离子体加工新方法,即通过在并行探针针尖上集成微小等离子体发生器,从而实现无掩膜的扫描加工.采用二维流体模型对其中的微小等离子体发...
[期刊论文] 作者：李磊,褚家如,平志明,
来源：压电与声光 年份：2004
压电微悬臂梁是一种利用压电元件的逆压电效应驱动微悬臂梁使其振动,并利用压电元件的压电效应来检测梁的变形量的集成微驱动器和微传感器.文中讨论了压电微悬臂梁中的压电元...
[期刊论文] 作者：朱学林,王翔,褚家如,,
来源：光学精密工程 年份：2009
考察了over-plating工艺中不同线距、线宽条件下的电沉积规律。利用数值模拟方法对图形结构轮廓和电沉积速度之间的相互影响进行了分析,同时采用变网格方法来适应电沉积过程...
[期刊论文] 作者：王翔, 余彦清, 褚家如,,
来源：光子学报 年份：2012
亚波长微纳米结构表面具有优良的抗反射特性,本文以硅基太阳能电池响应光谱的300～1 200nm为应用基础,利用时域有限差分法计算了表面面形、结构参量的占空比、高度和周期以及光...
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