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[期刊论文] 作者：褚家如,黄文浩,
来源：中国科学技术大学学报 年份：1994
微机与电容传感器结合实现了惯性式微机构位移性能的动静态检测，清晰地分辨出了驱动信号周期为５ｍｓ时微位移机构的响应波形，详细推导了测量系统的数学模型，非线性误差的表达式以及极......
[会议论文] 作者：褚家如;黄文浩;,
来源：第五届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2001
信息微系统技术已经成为MEMS领域里十分活跃的方向之一,它将对包括信息获取、信息存储和信息传输在内的现代信息技术的广泛领域产生十分重要的影响.比如用于信息获取的微型传...
[会议论文] 作者：鲁健,褚家如,黄文浩,
来源：第五届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2001
PZT(Pb(ZrTi)O)作为一种性能优异的功能材料,被广泛应用于微系统中的微型传感器和微型驱动器.本文综述了适用于微系统技术中的PZT铁电薄膜的制备方法,介绍了国内外PZT铁电薄...
[期刊论文] 作者：刘爽,褚家如,黄文浩,李保家,
来源：中国科学技术大学学报 年份：2010
利用飞秒激光实现了对PZT厚膜（十几至上百微米）材料的精确烧蚀和图形化研究.飞秒激光脉宽为130fs,重复频率为1kHz.首先利用飞秒激光脉冲能量与烧蚀点大小的关系,得到飞秒激光烧...
[期刊论文] 作者：褚家如,黄文浩,洪义麟,付绍军,
来源：电子显微学报 年份：1995
本文报道了用原子力显微镜（ＡＦＭ）研究多种Ａｒ＾＋离子抛光参数Ｓｉ（１１１）表面的微观粗糙度和三维微观形貌特征，发现用于离子束抛光方法可以显著地改善硅片表面的微观粗糙度，抛光效果与离子束能量，束流强......
[期刊论文] 作者：刘允萍,郭玉亭,褚家如,黄文浩,
来源：现代科学仪器 年份：1998
本文从实验装置、工艺流程、接合机理、接合强度以及影响因素等方面综合评述了表面活化常温接合技术研究的进展状况。In this paper, the progress of the research on the...
[期刊论文] 作者：褚家如,黄文浩, 赤津豪,须贺唯知,
来源：电子显微学报 年份：1995
用表面活化方法实现了Ａｌ和Ｓａｐｐｈｉｒｅ之间常温直接结合，用原子力显微镜研究了电解腐蚀，高速原子束轰击和压接等过程中样品表面微观形貌及微粗糙度的变化，提示了压接前样品表面微观粗糙度对接......
[期刊论文] 作者：褚家如,黄文浩,张晓俊,于建宏,杨生元,
来源：中国科学技术大学学报 年份：1994
微机与电容传感器结合实现了惯性式微动机构位移性能的动静态检测，清晰地分辨出了驱动信号周期为５ｍｓ时微位移机构的响应波形．详细推导了测量系统的数学模型、非线性误差的表达式以......
[会议论文] 作者：劳召欣;李家文;胡衍雷;李国强;褚家如;黄文浩;,
来源：第二十一届全国激光学术会议 年份：2014
激光清洁技术作为一种新型的清洁方法，有着非接触、无研磨的优点，已成功应用与工业模具、建筑物、精密机械部件等领域.近年来，基于飞秒激光脉冲作用时间短，热效应小，脉冲能量......
[期刊论文] 作者：李家文,陈宇航,胡衍雷,劳召欣,褚家如,黄文浩,,
来源：光学精密工程 年份：2014
搭建了能够在二维方向上实现纳米级定位的二维自动定位系统.首先,加工了栅格间距为5 μm的64×64编码的透射式二维零位光栅;然后,分析设计了光栅系统光电转换电路和数据...
[期刊论文] 作者：王翔,何冀军,裴香涛,邵鹏,褚家如,黄文浩,,
来源：Chinese Optics Letters 年份：2009
Micro stereo lithography is a kind of technology utilizing the solidified effect that photo curable polymer will appear under ultraviolet (UV) laser exposure.It...
[期刊论文] 作者：劳召欣,李家文,胡衍雷,李国强,张晨初,吴东,褚家如,黄文浩,,
来源：科学通报 年份：2016
金属镜面反射镜是反射式天文望远镜中成像系统的核心部件,反射镜定期清洗是天文望远镜维护中的一项重要工作.目前采用的干冰人工清洗方法工序繁杂,成本较高,还需要定期使用清...
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