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[学位论文] 作者：覃蝶,
来源：中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) 年份：2023
X射线聚焦镜是大型同步辐射光束线中用于光束整形与聚焦的重要光学元件,为实现X射线的高相干传输和纳米级聚焦,要求X射线反射镜的面形精度优于1 nm。超高精度X射线镜面形检测是高精度纳米聚焦镜制造和加工过程中的重要技术难题。拼接干涉检测技术是目前X射线光......
[期刊论文] 作者：邓婷,刘锋伟,覃蝶,徐燕,吴永前,陈强,
来源：光学学报 年份：2022
针对拼接干涉测量技术除了引入拼接误差,还将引入机械运动误差的问题,为此提出一种X射线反射镜的非零位干涉测量方法,无需拼接便可实现零回程误差的高精度干涉测量.利用一块高精度平面镜来标定干涉系统在全视场范围内的回程误差.通过将待测非球面镜划分成多个子......
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