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[学位论文] 作者：谢仁飚,
来源：中国科学院上海技术物理研究所 年份：2009
本文针对我国下一代超光谱成像仪采用的运动补偿凝视成像技术进行了系统性的分析与研究。针对其低速高精度的控制特点，采用FPGA作为驱动、通信、控制的核心芯片，有限转角电机作......
[期刊论文] 作者：潘菊凤,纪松林,谢仁飚,
来源：工业控制计算机 年份：2020
针对扫描投影光刻机激光安全防护需求,在整机电气安全与诊断系统中通过硬件互锁进行了激光安全互锁设计,并提供监测报警机制,增强了光刻机产品的安全性与可靠性,达到了预期的...
[期刊论文] 作者：周航汛,熊显名,张文涛,谢仁飚,
来源：现代电子技术 年份：2020
在高端光刻机中,光栅尺掩模台位移测量系统拥有较复杂的运算模型,而且要求测量系统硬件架构能满足20 kHz高采样频率的需求。通过对国内运动台位移测量系统硬件架构进行对比研...
[期刊论文] 作者：谢仁飚,张明涛,刘银年,王建宇,,
来源：测试技术学报 年份：2009
通过对SPWM(Sine Pulse Width Modulation,正弦波脉冲宽度调制)波形的频率成分地分析,提出了SPWM波双相绕组激磁鉴相型的驱动方案,成功地将原先用于电机驱动的SPWM方法应用于空间用感应同步器的驱动上.在此驱动的基础上,对感应信号做了进一步分析,采用了Chebysh......
[期刊论文] 作者：谢仁飚,王跃明,刘银年,王建宇,,
来源：中国惯性技术学报 年份：2008
一般的感应同步器的使用需要由正弦波信号作为激磁信号,由高精度的轴角转换器作为信号处理的关键器件,因而其在航天产品的使用中受到限制。通过对感应同步器激磁信号频率成分...
[期刊论文] 作者：张文涛,杜浩,熊显名,谢仁飚,王献英,
来源：中国激光 年份：2019
设计了一个基于二维光栅的高精度位置测量系统的硬件在环仿真平台,分析了测量模型在编程过程中产生误差的原因,并使用该仿真平台测试了模型的精度和运算时间。结果表明,当计算频率为20 kHz时,测量模型的编程精度优于0.79 nm,测量机箱引起的误差为8.84×10 ......
[期刊论文] 作者：潘菊凤,纪松林,谢仁飚,孙嘉伟,李笑天,
来源：电子工业专用设备 年份：2020
针对扫描投影光刻机电气安全互锁与智能诊断需求,设计了一套数据采集与监视控制系统。该系统以安全处理盒作为主要电气硬件结构,以倍福嵌入式工业PC作为主站,PLC I/O模块配置...
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