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[学位论文] 作者：谭毅成,,
来源：广东工业大学 年份：2021
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[期刊论文] 作者：伍海东, 刘伟, 程利霞, 刘健, 谭毅成, 向其军, 伍尚,
来源：人工晶体学报 年份：2017
采用CaO-MgO-SiO2为烧结助剂,采用无压烧结技术,研究了烧结温度对96Al2O3陶瓷热导率及力学性能的影响。采用阿基米德排水法、三点弯曲法、激光脉冲法、扫描电子显微镜（SEM）及X...
[期刊论文] 作者：刘建,程利霞,伍海东,谭毅成,向其军,伍尚华,
来源：人工晶体学报 年份：2017
采用无压烧结技术,以0.25wt%Ca O、1wt%Mg O、2.75wt%Si O2为添加剂,在1500℃、1550℃、1600℃下烧结制备了Al2O3陶瓷,分别在150~400℃温度范围内和40%~100%的相对湿度环境下...
[期刊论文] 作者：谭毅成,伍尚华,朱佐祥,向其军,朱祖云,田卓,
来源：人工晶体学报 年份：2018
等离子刻蚀技术是超大规模集成电路制备工艺中不可或缺加工技术。在半导体晶圆尺寸不断增大以及特征尺寸不断缩少的发展进程中,晶圆的污染问题越来越突出。而刻蚀机腔室材料...
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