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[期刊论文] 作者：谷留涛,张卫平,冯军,
来源：中国惯性技术学报 年份：2021
多环谐振微陀螺是一种全对称平面结构的MEMS陀螺仪,具有体积小、功耗低、可批量制造、抗冲击性强等优点,是目前最具发展前景的MEMS陀螺仪之一。围绕多环谐振微陀螺的结构及其优化设计展开研究,深入分析了多环谐振微陀螺的结构机理和关键性能参数,搭建了一套通用......
[期刊论文] 作者：李志伟,张卫平,谷留涛,
来源：半导体光电 年份：2021
提出了一种面向微惯性测量单元(Micro-IMU)应用的微电子机械系统(MEMS)三维可折叠结构,其主要组成部分包括绝缘层上硅(SOI)基底、聚酰亚胺柔性链、金属线以及MEMS多环陀螺仪....
[期刊论文] 作者：冯军,张卫平,刘朝阳,谷留涛,
来源：导航与控制 年份：2021
多环谐振陀螺是当前高精度陀螺的研究热点,内S形柔性梁多环谐振陀螺是一种具有S形柔性梁的新型多环谐振陀螺,研究其热弹性阻尼对于提高陀螺性能至关重要.介绍了内S形柔性梁多环谐振陀螺的结构和工作原理,借助有限元方法对其热弹性阻尼的发生机理进行了分析,并在......
[期刊论文] 作者：薛冰,张卫平,王子杰,田梦雅,谷留涛,,
来源：半导体光电 年份：2020
由于多环谐振式微机械陀螺的谐振频率较高,传统的数字控制电路对陀螺幅点信号的频率跟踪难以同时兼顾精度和速度的要求.在传统半球陀螺数字控制电路的基础上,提出了一种适用...
[期刊论文] 作者：田梦雅,张卫平,谷留涛,刘朝阳,薛冰,
来源：半导体光电 年份：2020
由SOI片制备的微多环谐振陀螺仪在测试过程中, 不可避免地会引入馈通信号, 而目前常用的差分检测馈通取消方式高度依赖微陀螺仪和检测电路的对称性, 不能有效地消除馈通信号。针对此问题, 提出了一种基于反相信号的馈通取消方案, 通过在驱动和检测电极之间施加......
[期刊论文] 作者：李敏阳,张卫平,谷留涛,刘朝阳,田梦雅,
来源：半导体光电 年份：2020
提出了一种新型的结构解耦四质量块陀螺仪的结构设计以及制备方法。采用梳齿电极的设计和推挽法消除了静电驱动力的二倍频分量, 并对折叠梁结构进行仿真分析和优化, 有效地实现了对驱动和检测模态的结构解耦。针对陀螺仪的结构, 设计了可行的工艺方案并进行实际......
[期刊论文] 作者：谷留涛, 张卫平, 刘朝阳, 田梦雅, 成宇翔,,
来源：导航与控制 年份：2004
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技...
[期刊论文] 作者：谷留涛,张卫平,刘朝阳,张雷,龚成,向浩,
来源：传感器与微系统 年份：2021
提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿真.模态分析仿真结果表明:该结构工作模态的...
[期刊论文] 作者：李志伟,张卫平,谷留涛,刘朝阳,朱甲强,
来源：导航与控制 年份：2021
多环陀螺由于其对称性好、机械性能优异、能耗低、效率高等特点成为MEMS陀螺领域高性能惯性器件的代表。基于MEMS多环陀螺的发展现状,针对现有多环陀螺结构刚度较大、灵敏度较低的现状,提出了一种新型的圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺,通过内双梁的柔性降低了......
[期刊论文] 作者：田梦雅,张卫平,谷留涛,刘朝阳,欧彬,成宇翔,赵万良,
来源：飞控与探测 年份：2019
随着对于惯性测量单元精确度的要求不断提升,针对于陀螺仪测控电路的要求也逐步提高。首先介绍了微半球谐振陀螺的结构与工作原理,然后对其测控电路工作原理进行了介绍。之后...
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