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[期刊论文] 作者：贺岩斌,王志鹏,曾旭初,,
来源：电力电子技术 年份：2011
高功率脉冲磁控溅射以其高离化率、高薄膜性能等特点得到广泛关注。介绍了高功率脉冲电源系统的原理和研制,提出了基于全桥逆变、电容储能、均流斩波等环节实现电源的方案,分...
[期刊论文] 作者：贺岩斌, 熊涛, 李民久, 姜亚南,,
来源：电力电子技术 年份：2004
高频磁控溅射电源输出双极性高频脉冲,应用于对称孪生靶磁控溅射镀膜。随着工业化的进程,大功率电源的研制具有重要的意义。提出了基于标准化模块输入侧并联、输出侧并联组合...
[期刊论文] 作者：贺岩斌, 熊涛, 姜亚南, 李民久,,
来源：真空 年份：2004
高功率脉冲磁控溅射因其高离化率得到广泛关注,是磁控溅射领域的新方向。随着对高功率脉冲磁控溅射放电和等离子特性的深入研究,制约高功率脉冲磁控溅射应用的主要不足有:沉...
[期刊论文] 作者：李民久, 熊涛, 姜亚南, 贺岩斌, 陈庆川,,
来源：真空 年份：2004
真空管内部的细小金属毛刺去除工艺中采用直流高压存在毛刺去除不净、较大毛刺剩余、影响产品耐压和频率测试等问题。为克服直流高压去毛刺的工艺缺点,采用低重复频率的高压...
[期刊论文] 作者：李民久, 姜亚南, 贺岩斌, 熊涛, 陈庆川,,
来源：真空 年份：2018
中频磁控溅射镀膜具有成膜均匀,膜重复性好,靶材不易中毒等诸多优点,适用于大规模生产,因此应用广泛。中频磁控溅射技术在电源的设计和应用方面非常重要,目前较为成熟的是正...
[期刊论文] 作者：李民久,贺岩斌,姜亚南,熊涛,陈庆川,,
来源：真空 年份：2017
在磁控溅射和多弧离子镀膜中,加于工件上的单极性脉冲负偏压电源很容易出现拉弧打火现象,这将严重影响镀膜质量,甚至损坏镀膜工件。本文根据单极性脉冲负偏压电源特性和负载...
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