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[会议论文] 作者：贾泽;陈兢;任天令;刘建设;刘理天;,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
对单片纹膜电容式微传声器的工艺设计进行改进,将体硅微加工放大部分的表面硅微加工之后进行.由此带来的以体硅腐蚀时硅片的正面保护和体硅腐蚀的控制等新的工艺问题.本文进...
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