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[学位论文] 作者：赖鼐,,
来源： 年份：2006
本文对基于MEMS技术的硅纳米线的机械特性和制造方法进行了研究。通过建立硅纳米线模型和分子动力学方法模拟硅纳米线的机械弹性模量,研究和分析了硅纳米线的尺寸、温度以及...
[期刊论文] 作者：赖鼐,马慧莲,金仲和,丁纯,
来源：传感技术学报 年份：2004
本文介绍了HF腐蚀牺牲层二氧化硅的一、二阶混合释放腐蚀模型.以从port到bubble的组合微机械结构为例,深入研究了一、二阶混合释放腐蚀模型在具体牺牲层腐蚀结构中的应用,并...
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