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[期刊论文] 作者：赵丕鑫,
来源：半导体技术 年份：2004
对电路生产来说,不能单凭工艺手段来保证成品率和参数水平,我们认为光刻版的质量好坏、设计的合理与否也是左右这两方面的重要因素。一个版面设计合理图形完好的光刻版会大...
[期刊论文] 作者：赵丕鑫,
来源：半导体技术 年份：1983
一、液态三氯氧磷和陶瓷片状磷源比较 三氯氧磷在600℃以上将发生如下反应 生成的五氯化磷和氧气与硅在高温下生成二氧化硅和磷原子。 从上面反应可以看出,如果三氯氧磷热...
[期刊论文] 作者：李思渊,赵丕鑫,
来源：半导体技术 年份：2004
上文中我们就对集成电路管芯成品率影响较大的光刻质量,版面设计等六个工艺因素进行了分析。现在我们再从工艺程序等四个方面对管芯成品率的影响作一讨论。 一、工艺程序的...
[期刊论文] 作者：李思渊,何山虎,赵全喜,赵丕鑫,
来源：半导体技术 年份：1977
提高芯片成品率是目前集成电路生产中一个广泛关心的重要课题。各个厂家都作了大量的工作,积累了不少的宝贵经验。我们对广大工人和技术人员长期实践中积累的丰富经验进行了...
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