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[学位论文] 作者:赵丹淇, 来源:北京大学 年份:2014
论文充分调研了MEMS技术发展过程中单片集成技术的优势和限制因素,在分析了国内外现有的集成工艺技术特点和挑战的基础上,明确了集成化工艺设计思路。  论文对集成工艺的材料......
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